Tiger Optics

微量氣體定量分析的新方法：光腔衰蕩光譜( CRDS)

閻文斌，Tiger Optics，LLC.  Warrington，PA18976

介紹 

微量氣體雜質(zhì)定量分析在許多領域都非常重要，例如光譜學，化學分析、醫(yī)療診斷、環(huán)境監(jiān)測和工業(yè)生產(chǎn)中的污染物控制等。 在過去二十年間，隨著半導體產(chǎn)業(yè)的進步，半導體生產(chǎn)所用的氣體中zui大允許的不純度減少了四個數(shù)量級。

的確，超高純度氣體對于半導體集成電路中所要求得越來越小的幾何特點具有極其重要的作用。特別是已經(jīng)證實了的，氣體中只要有十億分之幾(ppb)的水分就可在硅片上導致瑕疵[1]。 所以半導體制造商要求氣體供應商清楚地保證水分不能大于1-10 ppb，今后會要求更低的水平。 

半導體產(chǎn)業(yè)對高純度氣體的需求對氣體供應商和分析儀器制造商提出了巨大挑戰(zhàn)。微量水分的監(jiān)測不僅用于大用量氣體，例如氮氣、氧氣、氫氣、氦氣和氬氣，而且還要監(jiān)測特殊氣體，例如HCl，HBr，BF3，AsH3，CF4和許多其他氣體。 這些氣體往往是高腐蝕性、易反應和有毒的。

這個挑戰(zhàn)要求微量氣體分析儀不僅應具有高靈敏度、準確度和快速響應速度，而且要能夠經(jīng)受腐蝕性氣體。 現(xiàn)有的儀器很少滿足所有這些要求。 光腔衰蕩光譜(CRDS)是少數(shù)能達到上述要求的一種基于激光的光譜技術(shù)。*臺基于光腔衰蕩光譜(CRDS)原理的儀器，MTO-1000-H2O，可以準確、快速地檢測普通氣體中200 ppt的水分，此儀器還可用于腐蝕性和有毒氣體。